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CFT05V1253型美國lesker法蘭真空陶瓷斷裂原因分析

點擊次數(shù):240 更新時間:2025-09-15

  美國lesker提供具有用于生產(chǎn)和研究應用程序的機器人轉(zhuǎn)移的單室沉積系統(tǒng)或群集工具,以及對過程,應用,機械,機械,電氣和軟件工程的廣泛了解。

  CFT05V1253型美國lesker法蘭真空陶瓷斷裂原因分析如下:

機械應力集中?

CF法蘭采用金屬靜密封設計,其刀口結(jié)構(gòu)在安裝時可能對陶瓷部件產(chǎn)生局部應力,若陶瓷材料存在微裂紋或厚度不均,易在應力集中處斷裂?。

Lesker法蘭的陶瓷饋通件通常需承受高真空環(huán)境(10^-12 mbar)和高溫烘烤(250℃以上),材料熱膨脹系數(shù)不匹配會加劇應力?。

?熱沖擊或溫度梯度?

陶瓷材料(如氧化鋁)在快速升溫/降溫時易因熱應力開裂。若真空系統(tǒng)烘烤程序未按規(guī)范操作(如升溫速率過快),可能導致陶瓷斷裂?。

?材料缺陷或工藝問題?

陶瓷內(nèi)部氣孔、雜質(zhì)或燒結(jié)不均勻會降低機械強度,在真空環(huán)境下可能引發(fā)微裂紋擴展?。

Lesker法蘭的陶瓷部件需滿足超高真空兼容性,若材料質(zhì)量不達標(如未使用無氧銅密封或高純度陶瓷),斷裂風險增加?

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  CFT05V1253型美國lesker法蘭真空陶瓷斷裂規(guī)格:

除非另有說明,否則下表中列出的所有維度為英寸。

電壓(KVDC):5

袖子材料:科瓦爾

絕緣材料:氧化鋁

熱范圍(°C):-55至450

法蘭安裝:DN35CF-DN40CF(OD為2.75)

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